トリクロロシラン還元プロセス

トリクロロシラン還元工程管理法 予備反応管理段階、安定反応管理段階、最終反応管理段階からなる方法です。予備反応制御段階では、SiHCl3 の流量は 260 立方メートル/時未満に制御され、H2 の流量は 520 立方メートル/時未満に制御され、電流は 30 ～ 1000 アンペアに制御されます。安定反応制御段階では、SiHCl3 の流量は 175 ～ 260 立方メートル/時間、H2 の流量は 385 ～ 520 立方メートル/時間、電流は 1000 ～ 2000 アンペアに制御されます。最終的な反応制御段階では、SiHCl3 の流量を 130 ～ 250 立方メートル/時間に制御します。 H2 の流れは 360 ～ 520 m3 / h の間で制御され、電流は 100 ～ 800 アンペアの間で制御されます。本発明は、トリクロロシランの収率を改善し、エネルギー消費を削減し、企業の生産コストを削減します。