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トリクロロシランの合成コストの 66% をシリコン金属が占めているため、トリクロロシランの価格は
現在、トリクロロシランの主な合成方法は 2 つあります。1 つは従来の合成方法である塩化ケイ素法です。もう一つは四塩化物の加水分解です。
現在、ポリシリコンの製造方法は、トリクロロシランを用いた改良シーメンス法が主流
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