トリクロロシランの質量分率

トリクロロシランの製造プロセスは、主に流動床反応器内で金級のシリコン金属粉末と塩化水素ガスを反応させることによって調製されます。一般的に金級の金属シリコン粉末を使用し、塩素と水素ガスの燃焼反応による塩化水素ガス。反応温度は 300 ～ 400 度で、圧力のほとんどはマイクロ陽圧操作を使用します。流動床の製品組成は、基本的にトリクロロシラン (85% ~ 92%)、四塩化ケイ素 (8% ~ 15%)、およびジクロロ二水素シリコンやポリシロキサンなどの少量の軽質成分、およびその他の再結合画分です。当社の設計によると、蒸留後に得られるトリクロロシランの品質は 99.00% ～ 99.99% であり、副産物である四塩化ケイ素の品質は 99.00% ～ 99.90% です。