高炭素トリクロロシラン

乾燥したシリコン粉末は、塩素化流動層炉で340°Cで乾燥した塩化水素ガスと反応し、生成した粗トリクロロシランを湿式集塵機とパイプ束コンデンサ蒸留塔で四塩化シリコンに分離し、凝縮させて完成品を得る。生成物は、フェロシリコンとHClとの反応によっても得ることができる。

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刺激臭のある無色の液体。水で分解し、二硫化炭素、四塩化炭素、クロロホルム、ベンゼンなどに溶けます。可燃性で、空気中で自然に発火する可能性があります。有毒！

High Carbon Trichlorosilane

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