電子グレードトリクロロシラン

電子グレードのトリクロロシランsihc13は、無色、可燃性、腐食性の液体であり、窒息臭を有する。湿った空気中で急速に加水分解して塩化水素を生成する:沸点31.融点 126.液体密度134ukgi抵抗:空気中では「}」、燃焼性限界はB.9%〜7U}'uである。引火点 - 28。U}. Ti}v HClによる) 5x 1U ".

仕様

調製方法

調製方法は、工業用グレードの二塩化ケイ素を原料とし、精留により精製することです。二塩化ケイ素は、半導体チップおよび他の部品の製造における化学気相成長のためのケイ素源として使用される。